高品質のダイヤモンド粒子をシリカにブレンドした中性ｐHの水性スラリー
ULTRA-SOL STD0.5μ20MCHは、コロイダルシリカに0.5μmの単結晶ダイヤモンドをブレンドした、SiCなどの硬質基板研磨用のプレCMPスラリーです。
ダイヤ砥粒で表面にアタックをかけ、コロイダルシリカで整わせることで、高い加工レートと表面品質を実現できます。
CMPの前の使用することでプロセス時間を短縮してくれます。
海外のSiC量産プロセスにおいて、多数の採用実績がございます。
ぜひダウンロードしてご確認ください！
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